[发明专利]光刻仪器和方法在审
| 申请号： | 202210788198.9 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN115857278A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 颜炜峻;杨基;余昇刚;简上杰;陈立锐;刘恒信 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 在实施例中，一种方法包括：加热极紫外源的副产物运输环，副产物运输环设置在极紫外源的叶片下方；在加热副产物运输环第一持续时间后，加热叶片；加热叶片后，冷却叶片；在冷却叶片第二持续时间后，冷却副产物运输环。本申请的实施例提供了光刻仪器和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 仪器 方法 | ||
【主权项】：
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