[发明专利]13

摘要

本发明涉及气体纯化技术领域，具体公开了一种易于操作、纯化效果好，纯化后的气体各项指标均符合电子级应用标准的13CO同位素分离尾气纯化装置，包括依序连通的第一隔膜压缩机、除水塔、吸附塔、脱轻塔、除尘器、第一过滤器、与脱轻塔塔底连通的脱重塔、与脱重塔塔顶连通的第二过滤器及与第二过滤器连通并输出CO纯化产品的第二隔膜压缩机。还公开了一种13CO同位素分离尾气纯化方法，包括对待纯化CO尾气增压除水，并吸附除去尾气中预设种类的气体杂质；对吸附后的尾气除尘过滤；通过脱轻塔和脱重塔对过滤后的尾气进行精馏；过滤并压缩精馏气体，以制得CO纯化产品。