[发明专利]振动元件的制造方法在审
| 申请号： | 202210798312.6 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115622521A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 坂田日和;西泽龙太;白石茂;山口启一;小林琢郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 方冬梅;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种振动元件的制造方法，能够抑制无用振动的产生、振动元件的破损。振动元件的制造方法包括：第一干蚀刻工序，从第一面侧对具有第一面以及第二面的石英基板进行干蚀刻，形成第一槽和第一振动臂及第二振动臂的外形；第二干蚀刻工序，从第二面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第二槽和第一振动臂及第二振动臂的外形；以及之后对第一振动臂以及第二振动臂的侧面进行湿蚀刻的湿蚀刻工序。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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