[发明专利]一种高瞬发度可反应复合薄膜换能元有效
| 申请号： | 202210798559.8 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115183633B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 周浩楠;张良;李宋;张亚婷 | 申请（专利权）人： | 北京智芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | F42B3/13 | 分类号： | F42B3/13;F42D1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高瞬发度可反应复合薄膜换能元。本发明的高瞬发度可反应复合薄膜换能元，由下向上依次包括基底、绝缘层、单晶硅桥、粘附层、金属焊盘、隔离层、可反应复合薄膜，所述基底的上表面有绝缘层，绝缘层上表面为单晶硅层，单晶硅层的中间部分刻蚀形成单晶硅桥，单晶硅桥两侧的金属硅层上表面均设置粘附层和金属焊盘，金属焊盘、单晶硅桥的上方覆盖隔离层，隔离层上方沉积可变调制周期的可反应复合薄膜。本发明通过控制可反应复合薄膜的调制周期的厚度变化实现可反应复合薄膜的能量逐级释放，通过隔离层的厚度设计可以使单晶硅桥的热转换积聚，最终提升可反应复合薄膜的化学反应速率，实现点火功能的高瞬发度特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高瞬发度可 反应 复合 薄膜 换能元 | ||
【主权项】：
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