[发明专利]一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置在审

专利信息
申请号: 202210800035.8 申请日: 2022-07-08
公开(公告)号: CN115094372A 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 钟永华;梁博雄 申请(专利权)人: 深圳市创基真空科技有限公司
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及一种在塑料基材表面镀膜的方法及其装置,属于真空镀膜技术领域。一种在塑料基材表面镀膜的方法,包括:驱动真空泵对电镀室进行抽真空处理;充入氩气并进行放电,氩气被电离成氩离子,氩离子轰击塑料基材表面;在氩离子轰击时,开启深冷泵,电镀室与深冷泵之间形成冷却回路;保持深冷泵处于开启状态,进行真空镀模。一种在塑料基材表面镀膜的装置,包括:电镀室,电镀室外设置有真空泵和深冷泵,真空泵的入口端与电镀室相连通,真空泵抽气泵的出口端与外侧大气相连通,深冷泵与电镀室之间接有闭合的冷却回路。本申请具有改进了塑料基材表面水分子不能除去的问题,塑料基材的镀膜的效果较好、质量较高的效果。
搜索关键词: 一种 塑料 基材 表面 镀膜 方法 及其 装置
【主权项】:
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