[发明专利]连续生产高纯三甲基硅烷的方法及反应系统在审
| 申请号： | 202210800929.7 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115028656A | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 陈涵斌;徐昕;郑春宁 | 申请（专利权）人： | 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/08 | 分类号： | C07F7/08;C07F7/20 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 239500 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种规模化连续生产电子级高纯三甲基硅烷的方法及装置系统。本发明利用有机硅中间体生产工艺中的主要产品三甲基氯硅烷作为原料，以活泼金属的氢化物作为还原剂，在特定溶剂中发生还原反应，生成三甲基硅烷及多种硅烷类杂质气体，然后以多级精馏与吸附相结合进行提纯，可实现有机纯度超过4N，无机纯度超过6N的电子级三甲基硅烷的连续化低成本批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 连续生产 高纯 甲基 硅烷 方法 反应 系统 | ||
【主权项】：
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