[发明专利]一种超快脉冲测试系统、测试方法及装置在审
| 申请号： | 202210804613.5 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115166464A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王娟娟;罗家俊;韩郑生;倪涛;高林春;李逸帆;曾传滨;李晓静;刘建章;李多力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 马苗苗 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件测试技术领域，尤其涉及一种超快脉冲测试方法、装置及系统，该方法包括：对待测器件施加电压幅值递增的脉冲，获得待测器件在不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值；基于不同的脉冲下对应的漏源电流值和漏源电压值，得到待测器件的瞬态漏源电流‑漏源电压曲线以及静态漏源电流‑漏源电压曲线；基于瞬态漏源电流‑漏源电压曲线和静态漏源电流‑漏源电压曲线，确定待测器件的自加热效应对其电学特性的影响，进而能够对半导体器件的自加热效应对其电学特性的影响进行有效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 测试 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
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