[发明专利]蚀刻腔体的温度控制方法有效
| 申请号： | 202210806312.6 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115079748B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 陈泳 | 申请（专利权）人： | 杭州富芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 丁俊萍 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种蚀刻腔体的温度控制方法，所述方法包括：在蚀刻机台生产过程中出现宕机异常时，获得蚀刻腔体上部视窗的初始温度，开启视窗加热器以及关闭冷却装置，控制上部视窗温度自初始温度调整至预设温度并保温直至蚀刻机台恢复生产时，关闭视窗加热器及开启冷却装置，使上部视窗以预设升温速率升温至蚀刻工艺生产温度。本申请经改善的流程设计，可以大大减小上部视窗在自宕机到恢复蚀刻工艺(补蚀刻)过程中的温差，由此可以极大避免上部视窗上的镀膜因较大的温差产生掉落而给后续制程带来大量颗粒污染的问题，有助于提高生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
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