[发明专利]一种用于薄膜滤波器的薄膜浓度掺杂方法有效
| 申请号： | 202210806989.X | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN115001428B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;H10N30/07;H10N30/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于薄膜滤波器的薄膜浓度掺杂方法。所述薄膜浓度掺杂方法包括：根据所述薄膜滤波器结构要求确定所述薄膜滤波器的压电层结构内部所需包含的掺钪压电子层的层数和所述每个掺钪压电子层的厚度；依据所述压电层结构内部所需包含的掺钪压电子层的层数设置每个所述掺钪压电子层的掺钪浓度；按照每个所述掺钪压电子层的掺钪浓度制备所述薄膜滤波器的每个晶圆的压电层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 滤波器 浓度 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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