[发明专利]多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法有效
| 申请号： | 202210818151.2 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN114887848B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 曲东升;苗虎;王江坤;李长峰;周典虬;郜福亮;丁波;刘枭枭 | 申请（专利权）人： | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C9/14;B05C5/02 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 朱丽莎 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆封装技术领域，尤其是一种多工位点胶机的双料盒的晶圆输送控制方法。搬运设备将位于料盒装载工位的料盒内的晶圆搬运至预热工位进行预热处理，将晶圆送入到对准工位中，进行扫码对准，再将位置对准后的晶圆搬运至对应的点胶机进行点胶作业，点胶作业完成后，搬运设备将晶圆取走送入冷却工位，对该晶圆进行冷却处理，冷却完成后搬运设备将晶圆取走，送入到原料盒装载工位的料盒内的出料层，完成作业。两个料盒装载工位通过搬运设备交叉输送晶圆时互不影响，两个料盒装载工位分别装载两种或一种不同工艺的晶圆，作业方式更灵活；料盒装载工位可绑定1～4台点胶机，多工位点胶机可进行连续的作业不中断、不出现空工位，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多工位点胶机 双料 输送 控制 方法 | ||
【主权项】：
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