[发明专利]一种单晶硅片制绒剂及制绒方法在审
申请号: | 202210827641.9 | 申请日: | 2022-07-13 |
公开(公告)号: | CN115058773A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 彭奎庆;王江;白冰 | 申请(专利权)人: | 北京师范大学 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B33/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100875 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅片制绒剂及制绒方法,属于单晶硅片制绒技术领域,可用于单晶硅片表面正金字塔和倒金字塔绒面制备。本发明公开单晶硅片制绒剂中不含氢氧化钠等碱溶液,不含银、铜等贵金属。利用本发明公开的制绒剂及制绒方法可以在单晶硅片表面腐蚀制备表面均匀光滑、尺寸可调的正金字塔和倒金字塔绒面结构,同时具有较低的光反射率。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 片制绒剂 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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