[发明专利]一种薄膜型压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210828572.3 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115183932A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 高燕 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/04 |
| 代理公司： | 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 | 代理人： | 杨勇 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜型压力传感器，其特征在于，包括：绝缘基底和绝缘盖片；所述绝缘基底的表面和内部空腔中均包括蛇形状排列的压阻陶瓷薄膜，其中，所述绝缘基底的内部空腔中的压阻陶瓷薄膜不受力，在使用时接入全桥电路中。本发明实施例用立体光固化增材制造技术将聚合物打印为蛇形图案并热解为陶瓷薄膜，蛇形图案是为了增加压阻传感的有效物质；在空腔内用相同电阻的压阻材料制备一个不感受压力的相同蛇形图案，连接到全桥电路中，作为温度补偿；以绝缘的氧化铝/石英复合陶瓷材料为基底，将前驱体陶瓷(PDCs)制备于该基底上，氧化铝材料提供绝缘性和耐高温性，石英材料提高与硅基前驱体陶瓷的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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