[发明专利]超晶板质量检测装置、方法及系统有效

专利信息
申请号: 202210829120.7 申请日: 2022-07-15
公开(公告)号: CN114910483B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 王金桥;朱炳科;赵朝阳;陈盈盈 申请(专利权)人: 中科视语(北京)科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N35/00;G01B11/06;B07C5/10;B07C5/342
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 吴刚
地址: 102300 北京市门头沟区石*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及机器视觉技术领域,本发明提供一种超晶板质量检测装置、方法及系统,超晶板质量检测装置包括:摄像头,镜头朝向超晶板的生产线,用于拍摄超晶板的底漆图像;激光位移传感器,用于测量超晶板的厚度参数;剔除装置,用于将不合格超晶板从生产线上剔除;控制器,设置为接收底漆图像,基于底漆图像和厚度参数,筛选出不合格超晶板,控制剔除装置将不合格超晶板从生产线上剔除。本发明的超晶板质量检测装置、方法及系统,通过根据底漆图像和厚度参数筛选出不合格超晶板,控制剔除装置将不合格超晶板剔除,这样可以实现对超晶板质量的实时准确检测,能够降低检测误差,提高检测效率,降低人工成本。
搜索关键词: 超晶板 质量 检测 装置 方法 系统
【主权项】:
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