[发明专利]一种真空氦漏孔校准方法在审

专利信息
申请号: 202210831522.0 申请日: 2022-07-15
公开(公告)号: CN115200793A 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 刘贝贝;张忠立;刘燚;周宇仁;金愿 申请(专利权)人: 上海市计量测试技术研究院
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人: 王一琦
地址: 200040 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种真空氦漏孔校准方法,S1、先将(10‑10~10‑5)Pa﹒m3/s范围内不同数量级漏率的6N(N≥4)支标准漏孔接入氦质谱检漏仪,每个数量级上分布N支标准漏孔,且标准漏孔漏率值分别在各数量级上均匀分布;获取各标准漏孔对应的氦质谱检漏仪的示值;S2、以氦质谱检漏仪示值x为横坐标,标准漏孔漏率值y为纵坐标,绘制出漏率拟合曲线,得到拟合公式y=axb,完成氦质谱检漏仪在(10‑10~10‑5)Pa﹒m3/s量程范围内的校准;S3、然后将被校真空氦漏孔接入氦质谱检漏仪,将氦质谱检漏仪示值带入拟合公式得到被校漏孔漏率实际值,完成真空氦漏孔的校准。
搜索关键词: 一种 真空 漏孔 校准 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海市计量测试技术研究院,未经上海市计量测试技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210831522.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top