[发明专利]一种氧化物高阻隔膜、制备的方法以及真空卷绕镀膜设备在审
| 申请号： | 202210840196.X | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115198245A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;贺涛;陈捷豪 | 申请（专利权）人： | 浙江弘康半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/02;C23C14/08;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/54 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 陈泽元 |
| 地址： | 312030 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氧化物高阻隔膜、制备的方法以及真空卷绕镀膜设备，包括将柔性基底置于机械轴或者气胀轴上，通过卷绕路径进行穿膜；开启真空泵将卷绕区域抽至1‑10Pa时，镀膜系统继续抽真空，开启预处理离子源，通过粒子轰击对基底表面进行清洗以及增强基底与镀膜的结合强度；之后继续抽真空至10 |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化物 阻隔 制备 方法 以及 真空 卷绕 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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