[发明专利]一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法在审
| 申请号： | 202210853047.7 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115287593A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 尚佳丞;周玉荣;刘丰珍 | 申请（专利权）人： | 中建材浚鑫科技有限公司;中国科学院大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/32;C22C18/00;C22C18/04 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 马雯 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市江阴市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，该方法的具体步骤为：将锌基金属合金放入RPD设备的坩埚中，用机械泵及分子泵将RPD腔体抽至背底真空，之后通过流量计通入不同流量的氩气、氧气以及氢气，并开始调节压力；电源开始工作前，并向RPD腔体内通入氩气、氧气，调整RPD腔体内压力到稳定状态；RPD腔体内压力调节完成后，调整电源电流并启动电源，当观察到成功启辉且辉光稳定后打开挡板开始镀膜。本申请蒸镀的TCO薄膜具有透光性高、电导率高等特点，作为蒸发源的锌基金属合金相对于AZO具有相对便宜的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 基金 合金 作为 蒸发 制备 azo 方法 | ||
【主权项】：
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