[发明专利]测定方法、测定装置在审
| 申请号： | 202210853127.2 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN116265908A | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 冈部春霞;樋口刚志 | 申请（专利权）人： | 铠侠股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08;G01N7/10 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张轶楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及测定方法及测定装置。在测定方法中，在试验膜的表面配置抗蚀剂(20)，将模板(30)向配置于试验膜的表面的抗蚀剂(20)压靠，对将模板(30)压靠于抗蚀剂(20)后在抗蚀剂(20)形成的空隙的大小进行测定，基于空隙的大小来求出试验膜的气体透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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