[发明专利]载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置在审
| 申请号： | 202210858509.4 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115078949A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王昕;叶灿明;王世进;李俊生 | 申请（专利权）人： | 广州昆德半导体测试技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 广州汇盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44603 | 代理人： | 许浩达 |
| 地址： | 511330 广东省广州市增城区新城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载流子浓度镓基液态金属测量探头，导电线连接碳化钨棒，碳化钨棒的一端伸入由抗腐蚀材料制成的液态金属容器中，液态金属容器开设有贯通的容腔和毛细管，容腔连通毛细管；所述容腔内部填注镓基液态金属，镓基液态金属浸没碳化钨棒，利用在毛细管内的镓基液态金属形成测量探针，解决了探针安全性和环保的问题；该测量探针与测量样品为面接触，相比传统探针的点接触能够增大接触面积，使得测量数据的重复性好，提升了测量数据的准确度；使用诸如聚四氟乙烯等抗腐蚀材料的液态金属的容器及其毛细管，既不会被镓基合金腐蚀，也不会与镓基液态金属发生粘连，提升了镓基液态金属的流动性，从而提升测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 浓度 液态 金属 测量 探头 及其 装置 | ||
【主权项】：
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