[发明专利]一种光阻收集杯清洗装置在审
| 申请号： | 202210864605.X | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115193856A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李生骄;陈婉争 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/34 | 分类号： | B08B9/34;B08B9/38;B05B14/41 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭晓丽 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体领域，公开一种光阻收集杯清洗装置。光阻收集杯清洗装置包括：涂胶腔室、第一刮除机构、排废管，第二刮除机构、第一驱动机构和第二驱动机构；第一刮除机构位于涂胶腔室内；第一驱动机构与第一刮除机构传动连接，用于驱动第一刮除机构相对涂胶腔室的内侧壁运动，以刮除内侧壁上的残留物；排废管设置于涂胶腔室的底部，第二刮除机构位于排废管内；第二驱动机构与第二刮除机构传动连接，用于驱动第二刮除机构相对排废管的管壁运动，以刮除管壁上的残留物。大大缩短了清洗时间且清洗的较为彻底，在一定程度上降低了清洗频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 收集 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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