[发明专利]一种制备纳米晶薄膜的装置及其方法与应用在审
| 申请号： | 202210866784.0 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115305565A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 宋伟东;梁田泓;郭越;马博新;何鑫;张驰;罗幸君;孙一鸣 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 罗新 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备纳米晶薄膜的装置及其方法与应用。所述制备纳米晶薄膜的装置，包括：真空腔；加热台，所述加热台设置于所述真空腔的内部；坩埚，所述坩埚设置于所述加热台的表面；隔热板，所述隔热板设置于所述坩埚的表面；衬底，所述衬底设置于所述隔热板的表面。使用所述装置，能够高效、低成本地制备纳米晶薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 纳米 薄膜 装置 及其 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于五邑大学，未经五邑大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210866784.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
