[发明专利]一种四氯化硅除杂方法有效
| 申请号： | 202210871287.X | 申请日： | 2022-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN115196638B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 花莹曦;陈润泽;吝秀锋;李欣;王佳佳;孙加其;吝海霞;焦美玲 | 申请（专利权）人： | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人： | 彭琼 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四氯化硅除杂方法，该方法为：将粗品四氯化硅通入除尘塔内去除高沸物和硅粉，得到液相产物；将液相产物加压后送至膜分离器内去除氯硅烷中的其他氯化物，得到高压氯硅烷混合物；将高压氯硅烷混合物经过减压和脱轻去除三氯氢硅后，得到质量分率大于99.9999％的高纯四氯化硅产品。本发明利用膜分离技术有效去除了氯硅烷中的其他氯化物，将膜分离和精馏结合起来实现了节能的目的，且更换膜的时间要远少于吸附剂再生或者等离子体干燥的时间，有效抑制生产周期的延长和单位四氯化硅除杂成本的升高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 方法 | ||
【主权项】：
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