[发明专利]一种纳米探针及其制备方法有效
| 申请号： | 202210879567.5 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115236371B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 陈庆水 | 申请（专利权）人： | 东莞市竹菱铜业有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人： | 陈丹萍 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米探针及其制备方法，包括探针座、电磁铁、导磁杆、导电管、导电套和铁磁性导电颗粒；所述电磁铁固定设于探针座内；所述导磁杆的上端活动伸入探针座内后弹性连接在电磁铁上；所述导电管固定套设于导磁杆的外壁上；所述导电套活动套设于导电管外壁后固定连接在探针座上；所述铁磁性导电颗粒被磁性吸附于导磁杆的外壁上形成有至少一层与导电管电性连通的颗粒导电层；本发明通过控制电磁铁的通电电流大小，能够改变导磁杆上磁性吸附的铁磁性导电颗粒形成的颗粒导电层的吸附层数，从而改变探针的规格，获得不同规格和不同电气参数的探针，无需更换探针，提高测试效率，提高探针的使用灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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