[发明专利]一种AZO透明导电膜的制作方法及透明型太阳能电池器件在审
| 申请号： | 202210885338.4 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115404444A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 李源;谢雄才 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H01L51/48;H01L51/44 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 魏杰 |
| 地址： | 516600 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种AZO透明导电膜的制作方法及透明型太阳能电池器件，该制作方法，包括:以金属铝含量为1%～5%的氧化锌为原料，制作成AZO金属氧化物靶材；设定磁控溅射过程中氩气等离子体的工作压力为0.15～0.35Pa、成膜功率为4KW、成膜温度为200～300℃；制成厚度为大于400nm的AZO透明导电膜，此时透明导电膜形成晶格明显的六方晶束，其表面形貌为三、四、五、六棱锥型的混合尖端表面形状；当成膜压力从0.15Pa逐渐增加到0.35Pa时，多棱锥体的111或112晶向形成的晶面角度，也因晶束的宽度变化而发生明显的变化。制成的AZO透明导电膜可以同时作为太阳能电池器件中的聚光结构或透明正电极使用。本发明透明型太阳能电池器件包含AZO透明导电膜，充分利用入射光，提高光电转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 透明 导电 制作方法 太阳能电池 器件 | ||
【主权项】：
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