[发明专利]有机酸型粗化微蚀液及其制备方法在审
| 申请号： | 202210888051.7 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114959706A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李晨庆;陈修宁;王立中;黄志齐 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 徐春祺 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机酸型粗化微蚀液及其制备方法。有机酸型粗化微蚀液包括有机酸、卤离子、铜离子、络合剂和粗化添加剂，所述卤离子由卤离子源提供，所述铜离子由铜离子源提供。本发明的这种有机酸型粗化微蚀液中含有浓度为0.0001g/L~2g/L的粗化添加剂，粗化添加剂可以平衡不同铜层的化学电位，使其具有和底铜有大致相同的粗化能力，从而减少顶铜与底铜的蚀刻速率差，从而减少侧面蚀刻，可以保护侧壁的铜不被侵蚀，再结合络合剂维持溶液的稳定性，从而改善了侧蚀，保证了铜层在介电衬底上的附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 有机酸 型粗化微蚀液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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