[发明专利]胶厚在线实时测量装置及匀胶机在审
| 申请号： | 202210892905.9 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115060175A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴辉燃 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种胶厚在线实时测量装置及匀胶机，包括：测量台，所述测量台用于承载完成涂胶后的待测晶片；光源，所述光源设置于所述测量台上并用于与所述待测晶片相对设置；光接收传送模组，所述光接收传输模组用于与所述待测晶片配合设置以接收从所述待测晶片反射的光线；以及膜厚分析设备，所述膜厚分析设备与所述光接收传输模组电性连接。通过分析明暗相间的干涉条纹，根据条纹亮度可以得到两束光线的光程差，此时依据白光干涉测量法的原理便能够根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测晶片表面涂覆的光刻胶层的相对高度。当涂胶厚度存在均匀性一致性差的问题时，则能够及时进行干预修正，保证涂胶质量和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 实时 测量 装置 匀胶机 | ||
【主权项】：
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