[发明专利]体声波谐振器和体声波滤波器有效
| 申请号： | 202210895844.1 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115133902B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王健 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/58;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 武旭妹 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种体声波谐振器，包括基板、支撑层、压电层、底部电极、顶部电极和至少一个释放孔，其中，支撑层设置在基板上，包括多边形空腔，该多边形空腔在与从基板到支撑层的第一方向相交的平面上具有三条以上的边；压电层设置在支撑层上；底部电极设置在压电层下方，与空腔部分重叠，并延伸穿过空腔的第一侧；顶部电极设置在压电层上方，与空腔部分重叠，并延伸穿过空腔的第二侧；释放孔在压电层中形成并且与空腔部分重叠。本申请提供还一种体声波滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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