[发明专利]一种切割硅片的冷却液及提高冷却液循环稳定性的方法在审
申请号: | 202210897972.X | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115109639A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 邵学峰;吕德 | 申请(专利权)人: | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10M175/00;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215253 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种切割硅片的冷却液及提高冷却液循环稳定性的方法,该冷却液按质量百分比包括以下组分:多支链异构醇:18%~40%、多支链嵌段聚醚25%~42%,余量为水。提高金刚线切割硅片过程中循环冷却液稳定性的方法为,使用该冷却液作为冷却液循环使用过程中的补加液。本发明通过使用同时具有多种冷却液关键性能的材料,使其组分更加简单纯粹,只有两种关键原材料,使得在特定的混合比例下,即压滤过程中的损失比例,让循环后两种原材料的比例基本一致,减少不必要的补加,避免质量过剩。使用该冷却液能够降低冷却液补加量30%,单片切割成本能降低10%。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 硅片 冷却液 提高 循环 稳定性 方法 | ||
【主权项】:
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