[发明专利]一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统和推料方法在审
申请号: | 202210899254.6 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115285999A | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 张孝彬 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 孙永生 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了多晶硅生产技术领域的一种用于三氯氢硅生产的自动推料系统和推料方法,旨在解决现有技术中硅粉推料操作麻烦且难以进行有效控制的问题。其包括硅粉储罐、流化床和控制单元,所述硅粉储罐和流化床之间连接有推料管线;所述硅粉储罐上接设有氢气接入口,所述硅粉储罐和流化床上分别设有第一压力监测点和第二压力监测点,所述第一压力监测点和所述第二压力监测点均与控制单元电性连接,所述推料管线上设有下料阀,控制单元根据压差调整下料阀的启闭状态;本发明用于三氯氢硅生产中硅粉的自动推料作业,可根据流化床的需求进行硅粉的定量控制供给,节约了人力并可有效保障流化床内部稳定状态。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 三氯氢硅 生产 自动 系统 方法 | ||
【主权项】:
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