[发明专利]一种抗氧化的铜纳米线透明电极及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210906888.X | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115376757A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 梁先文;程魁富;赵涛;赖志强;刘丹;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 518100 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抗氧化的铜纳米线透明电极及其制备方法和应用，属于磁传感技术领域。本发明的抗氧化的铜纳米线透明电极的制备方法，先对铜纳米线原液经过清洗纯化，高压喷涂成膜，再经酸洗、氩气等离子体处理，最后通过原子层沉积技术(ALD)在铜纳米线导电网络上沉积氧化铝保护层，形成以铜纳米线为内核、氧化铝为外壳的异质结构，得到抗氧化很强的铜纳米线透明电极。本发明中通过原子层沉积的氧化铝，致密，隔离效果好，抗氧化性能强；引入的氧化铝外壳厚度为均匀的纳米级别，对透明电极的透光性和方阻几乎没有影响；氩气等离子处理可对铜纳米线导电网络起到焊接作用，极大地减少了接触电阻，提高导电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 纳米 透明 电极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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