[发明专利]微透镜制备方法及微透镜在审
| 申请号： | 202210911047.8 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115437044A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 黎步 | 申请（专利权）人： | 深圳通感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 王少虹 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市福田区红荔西路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微透镜制备方法及微透镜，微透镜制备方法包括以下步骤：S1、在衬底上涂覆光刻胶，以在所述衬底上形成光刻胶层；S2、对所述光刻胶层进行光刻、显影处理，使所述光刻胶层形成一个或多个圆柱状的光刻胶柱；S3、对所述衬底进行加热，使所述光刻胶柱热回流形成具有曲面面形的光刻胶结构；同时使所述光刻胶柱处于静电场中，通过静电力对所述曲面面形进行调控；S4、通过离子束刻蚀技术，将所述光刻胶结构的曲面面形转移至所述衬底上，形成微透镜。本发明的微透镜制备方法，通过热回流和静电场的配合，使光刻胶柱在热回流时形成曲面面形，同时通过静电场施加的静电力，实现曲面面形的可调，有助于获得不同曲率的微透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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