[发明专利]一种溅射靶材组件的回收再利用方法在审
| 申请号： | 202210914816.X | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN115287459A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;仝连海;钟伟攀;李凤连 | 申请（专利权）人： | 同创普润（上海）机电高科技有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B1/00;C22B21/00;C23G1/12;C23G1/22 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 201401 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅射靶材组件的回收再利用方法，其特征在于，所述回收再利用方法包括如下步骤：(1)采用物理分离法分离所述溅射靶材组件，得到背板和溅射靶材；(2)将步骤(1)所得溅射靶材依次进行碱液浸洗、酸液浸洗、水洗、干燥、熔炼、静置以及浇铸成形后得到金属铸锭。采用本发明提供的回收再利用方法对溅射靶材组件进行回收再利用，提升了靶材中高纯材料的回收率，与直接机加工回收不到10‑20％相比，提升至90％以上；且回收得到的高纯材料可以直接利用，减少了杂质的引入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 组件 回收 再利用 方法 | ||
【主权项】：
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