[发明专利]一种氮气柜进气加热装置及控制系统在审
申请号: | 202210941479.3 | 申请日: | 2022-08-08 |
公开(公告)号: | CN115196194A | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 黄林;朱美玲;刘涛 | 申请(专利权)人: | 江苏柒捌玖电子科技有限公司 |
主分类号: | B65D81/20 | 分类号: | B65D81/20;H01C10/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种氮气柜进气加热装置及其控制系统,包括设有热量调节装置的气体流量感知模块、加热模块、控制模块和电源模块。该系统通过设置由气体挡片、挡片阻力弹簧、弹簧导杆和滑变电阻组成的热量调节装置,实现由注入氮气柜的气体量来调节柜内加热元件的发热量,从而使得注入氮气柜气体的温度和氮气柜内部温度一致,进而避免因温度异常而导致存放于氮气柜内的晶圆质量下降。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮气 柜进气 加热 装置 控制系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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B65 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D 用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D81-00 用于存在特殊运输或贮存问题的装入物,或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件
B65D81-02 . 特别适于防止内装物受力损坏
B65D81-18 . 为内装物提供特殊环境,例如高于或低于室温
B65D81-24 . 适于防止内装物变质或腐败;应用食品防腐剂、杀菌剂、杀虫剂或动物防蛀剂的容器或包装材料
B65D81-32 . 用于包装两种或多种不同的物料,这些物料在混合使用前必须保持分开
B65D81-34 . 用于包装打算在包装件内烹调或加热的食物
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