[发明专利]一种射频电源信号采集方法及装置有效

专利信息
申请号: 202210943878.3 申请日: 2022-08-08
公开(公告)号: CN115015796B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 唐亚海;林桂浩;乐卫平;张桂东;伍紫扬 申请(专利权)人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
主分类号: G01R31/40 分类号: G01R31/40;G01R21/06;G01R27/08
代理公司: 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 11855 代理人: 陈钊
地址: 518102 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开提供了一种射频电源信号采集方法及装置,方法包括信号采样阶段,信号采样阶段根据预设功率上升阈值、预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数分别确定当前脉冲周期内的上升沿数据填补区间和下降沿数据填补区间;在采样过程中,将采样数组中上升沿数据填补区间和下降沿数据填补区间对应的数据位填补0、空信号数值或信号低位数值,解决了现有技术中采集板会将射频电源产生的斜坡段数据正常读取,因所采集到的数据不准确,导致后续计算不准确的问题。
搜索关键词: 一种 射频 电源 信号 采集 方法 装置
【主权项】:
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