[发明专利]一种温度梯度调控的化学气相沉积制备疏水膜的方法有效
| 申请号： | 202210950369.3 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115491653B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 邓旭;戴子忆;王德辉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学（深圳）高等研究院 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/06 |
| 代理公司： | 泰和泰律师事务所 51219 | 代理人： | 刘梦菲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于制备疏水膜的前体溶液，包含树脂原料、溶剂、成膜剂、分散剂。本公开还提供一种利用前体溶液制备疏水膜的方法。本公开的通过温度梯度调控的化学气相沉积制备疏水膜的方法应用范围广，可处理表面形貌复杂的物件，得到的疏水膜均匀致密，光学性能优异，具有优良的机械鲁棒性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度梯度 调控 化学 沉积 制备 疏水 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
