[发明专利]机台故障后的晶圆任务管理方法和装置

摘要

本发明提供一种机台故障后的晶圆任务管理方法和装置，其中方法包括：若机台故障类型为物理错误，触发急停指令；若机台故障类型为逻辑错误，触发暂停指令；确定任务已创建晶圆的工艺状态；若工艺状态为工艺预备，将任务已创建晶圆的任务状态设为第一状态；若工艺状态为工艺完成，将任务状态设为第二状态；若工艺状态为工艺中且触发了急停指令，将任务状态设为第三状态；若工艺状态为工艺中且触发了暂停指令，待工艺状态转变为工艺完成后将任务状态设为第二状态；待故障解除后，基于任务状态为第一状态的任务已创建晶圆生成活动子任务，并执行活动子任务。本发明提升了晶圆任务管理的准确性，同时兼顾了工艺效果、工艺效率以及晶圆的利用率。