[发明专利]用于微缩型LED的衬底及其制备方法、外延片在审
| 申请号： | 202210959648.6 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115332411A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 徐亮;于倩倩 | 申请（专利权）人： | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/12;H01L33/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王建宇 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微缩型LED的衬底及其制备方法、外延片，涉及半导体光电器件以及半导体照明制造领域。其中，衬底的制备方法包括：提供初始衬底，涂覆负性光刻胶、欠曝光、显影后得到中间体，在中间体的表面依次形成氧化铝膜和氧化硅膜，最后去除负性光刻胶，即得到用于微缩型LED的衬底成品；基于本发明制备方法得到的衬底，可改变光线出射角度，增加外量子效率，增加LED出光性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微缩 led 衬底 及其 制备 方法 外延 | ||
【主权项】：
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