[发明专利]用于制造半导体器件的方法和半导体器件在审
| 申请号： | 202210962381.6 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115832024A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 钱德拉谢卡尔·普拉卡斯·萨万特;张景舜;余典卫;蔡家铭 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L21/28;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于制造半导体器件的方法包括提供具有衬底、位于衬底上方的半导体沟道层、位于半导体沟道层上方的界面氧化物层以及位于界面氧化物层上方的高k栅极介电层的结构，其中，半导体沟道层包括锗。该方法还包括在高k栅极介电层上方形成金属氮化物层并使用含金属气体对该结构执行第一处理。在执行第一处理之后，该方法还包括在金属氮化物层上方沉积硅层；然后对该结构执行退火，使得在高k栅极介电层上方形成金属混合层。金属混合层包括具有来自高k栅极介电层的金属物质和来自含金属气体的附加金属物质的金属氧化物。根据本申请的其他实施例，还提供了用于制造半导体器件的方法和半导体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 半导体器件 方法 | ||
【主权项】：
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