[发明专利]一种极限电流型氧传感器的制备方法在审
| 申请号： | 202210966845.0 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115791930A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 高晓佳;戴冯辉;陈江翠 | 申请（专利权）人： | 江苏惟哲新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/409 | 分类号： | G01N27/409;G01N27/407 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾朝瑞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种极限电流型氧传感器的制备方法，其具有集成度高、结构简单，克服了很多应用场景传感器体积过大无法安装的问题，同时由于产品体积较小，加热时功耗低，多层工艺加工时加工效率高，单次可大批量生产。其包括以下步骤：一、生瓷块的加工；选用三块厚度为0.1‑0.25mm的氧化锆生瓷块分别为生瓷块一、生瓷块二和生瓷块三，其中生瓷块一印刷形成绝缘层一、加热器层和绝缘层二；生瓷片二的中部挖空形成空腔，生瓷片二的顶部印刷出牺牲层一；生瓷片三印刷形成泵内电极层、泵外电极层；二、堆叠；三、层压；四、切割；五、烧结。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极限 电流 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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