[发明专利]多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机有效
| 申请号： | 202210970803.4 | 申请日： | 2022-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN115261808B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 吕明;吴子敬;刘旭;苏艳波 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张倚嘉 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机，其技术方案要点是：包括轮系、行星齿轮以及同轴固接在行星齿轮上的支撑杆，支撑杆上设置有用于固定被镀工件的工件固定盘，多维旋转工件架还包括用于将驱动支撑杆自转的回转动力转化为驱动工件固定盘围绕水平轴自转的回转动力的第一驱动机构；达到了提高被镀工件表面的膜厚均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 多维 旋转 工件 具有 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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