[发明专利]一种三氯氢硅反应精馏生产高纯硅烷的方法在审

专利信息
申请号: 202210973508.4 申请日: 2022-08-15
公开(公告)号: CN115321540A 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 兰天石;付绪光;吴德智;蒋立民;王永亮;陈壮 申请(专利权)人: 江苏中能硅业科技发展有限公司;乐山协鑫新能源科技有限公司
主分类号: C01B33/04 分类号: C01B33/04
代理公司: 国浩律师(南京)事务所 32284 代理人: 谭缙
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的工艺,以三氯氢硅为原料,利用反应精馏技术,经过歧化反应精馏、多级冷凝分离、粗硅烷泵的提压、精馏分离提纯制备高纯硅烷。所述方法能够满足了万吨以上硅烷产量的要求,所述方法合理利用冷源,利用多级冷凝系统进行多次冷凝换热,冷源品位逐步升高,被冷却的粗硅烷流量逐步减少,纯度逐步增加,使低温温度的高品位冷源功率达到最小值,能源利用率得到了提高。
搜索关键词: 一种 三氯氢硅 反应 精馏 生产 高纯 硅烷 方法
【主权项】:
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