[发明专利]一种高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置在审
| 申请号： | 202210979992.1 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115287607A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 谢志航;钱凌翼;王斌 | 申请（专利权）人： | 无锡乘风航空工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 任益 |
| 地址： | 214111 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效率的涡轮叶片电子束物理气相沉积装置，包括整体呈圆柱形的中央腔室和在中央腔室的外侧沿圆周均匀分布设置的若干个功能腔室，中央腔室和各功能腔室的连通处均设有插板阀门，中央腔室包含叶片装夹递送机构，可绕其中心轴旋转，中心轴连接有若干组伸缩臂，伸缩臂均连接有叶片装夹器，伸缩臂的伸长或收缩均为独立控制，伸缩臂为伸长状态时可形成对相应功能腔室的真空密封，伸缩臂为收缩状态时叶片装夹递送机构可整体绕其中心轴旋转，以便将同一批次的待沉积涂层叶片依次经过各功能腔室完成涡轮叶片的涂层沉积。本发明可同时对不同批次的待沉积涂层叶片进行安装、预热、沉积、冷却和拆卸工序，有效提升了涂层生产的整体效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 涡轮 叶片 电子束 物理 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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