[发明专利]一种PERC太阳能电池氧化层及其优化方法

摘要

本发明提供一种PERC太阳能电池氧化层及其优化方法，所述优化方法包括依次进行的进舟、恒压、检漏、恒温、氧化、充氮和出舟；所述恒压包括依次进行的第一恒压、第二恒压和第三恒压；所述氧化包括依次进行的第一氧化和第二氧化；所述氧化伴随着氮气和氧气的通入，且氮氧流量比为1:(2‑4)；所述恒压至充氮的过程中炉内温度从炉口至炉尾逐渐降低。本发明提供的优化方法改善了电池的抗LID效果和转换效率，同时提升了产能和处理效率。