[发明专利]一种塑封方法有效
| 申请号： | 202211025216.4 | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115339045B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王龙 | 申请（专利权）人： | 合肥通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/14 | 分类号： | B29C45/14;B29C35/08;H01L21/56 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 231299 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及电子信息领域，提供一种塑封方法，应用于塑封装置，塑封装置包括载物台、固化液供给组件、固化液输送组件、可移动地设置于载物台上方的电子束发射组件；塑封方法包括：将待塑封产品置于载物台；固化液供给组件将固化液提供给固化液输送组件；固化液输送组件将固化液输送至待塑封产品的表面；电子束发射组件将电子束发射至固化液，将固化液固化，得到塑封好的待塑封产品。本公开可在室温下进行，应力释放几乎为0，塑封好的产品无需进行烘烤，节省了能源，缩短了固化时间，塑封环境更加安全；对塑封体厚度无限制，可应用于塑封体厚度要求不同的待塑封产品；电子束发射组件每次的位移可设置为较小数值，减少对线弧的影响，减少冲线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 塑封 方法 | ||
【主权项】：
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