[发明专利]一种圆顶安装治具在审
| 申请号： | 202211029438.3 | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115383699A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈浩淼 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/06 | 分类号： | B25H1/06;B25H1/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，圆顶组件具有多个连接孔，用于配合连接件锁定圆顶组件和腔室顶盖，且多个连接孔围绕圆顶组件的轴线环形分布，包括固定板、驱动机构和支架；固定板通过驱动机构安装于支架；驱动机构用于驱动固定板带动圆顶组件沿预设方向朝向腔室顶盖动作；固定板具有安装面，用于暂固圆顶组件，固定板上设置有与圆顶组件的多个连接孔对应的通孔结构；圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第一连接孔组，通孔结构包括与第一连接孔组对应的第一通孔组，第一通孔组用于露出第一连接孔组，以当圆顶组件与腔室顶盖接触时锁紧圆顶组件与腔室顶盖。该治具可实现简单快速可靠且单人安装圆顶组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆顶 安装 | ||
【主权项】：
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