[发明专利]声表面波器件在审
| 申请号： | 202211031631.0 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115425942A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张巧珍;张树民;刘露遥 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 蒋松 |
| 地址： | 310015 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波器件，包括依次叠置的压电薄膜层和衬底层，以及包括设在压电薄膜层的远离衬底层一侧的叉指换能器，压电薄膜层为铌酸锂薄膜；压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为(0°，90±10°，90±10°)；或者，压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，压电薄膜层的欧拉角为(50±5°，20±5°，0°)。本发明公开的声表面波器件能够激发兼具高声速、高机电耦合系数和导纳/阻抗比的声表面波，提高了声表面波器件的工作频率、带宽和品质因数，满足5G通信高频、大带宽的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 器件 | ||
【主权项】：
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