[发明专利]光学位置测量设备在审
| 申请号： | 202211034642.4 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115993088A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·卡埃尔贝雷尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量设备，用于检测至少两个标尺的相对位置，标尺可沿两个测量方向相对彼此移动，并且标尺布置在不同的平面中并彼此相交地布置。这两个标尺各自具有至少一个测量分度，测量分度具有带不同光学特性的沿至少一个测量方向周期性地布置的光栅区域；标尺的纵向延伸方向分别平行于第一或第二测量方向地定向。照明射束在第一标尺处分裂成至少两个子射束。然后，子射束加载到第二标尺，并且朝第一标尺的方向反射回来。然后，子射束重新射到第一标尺上并在那里再次组合，从而最终使至少一个产生的信号射束朝检测单元的方向传播，经由检测单元能够产生关于标尺沿第一或第二测量方向的相对移动的、一个或多个位置相关的扫描信号。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 设备 | ||
【主权项】：
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