[发明专利]激光加工方法、激光加工装置、以及太阳能电池的制造方法在审
| 申请号： | 202211042133.6 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN116060777A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 佐川雅彦;池田刚史;宫崎宇航 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光加工方法，对于具有第一层(201)和第一层(201)上的第二层(202)的层叠体(200)选择性地加工第二层(202)，该激光加工方法包括：(a)向第二层(202)照射具有第一聚光直径的第一激光，在第二层(202)形成第一槽(G1)的步骤；(b)向第一槽(G1)的内部的第一槽(G1)的中央的两侧分别照射具有比第一聚光直径小的第二聚光直径的第二激光，在第二层(202)形成第二槽(G2)的步骤；以及(c)向第二槽(G2)的内部照射具有比第二聚光直径大的第三聚光直径的第三激光，在第二层(202)形成第三槽(G3)的步骤。本发明在层叠体的选择性加工中能够实现锥度小的激光加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 装置 以及 太阳能电池 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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