[发明专利]DLC膜的脱膜方法在审
| 申请号： | 202211042822.7 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115404487A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 戴辉;尹士平;刘克武;郭晨光;王奎;李长东 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 239004 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开一种DLC膜的脱膜方法，其包括：在真空环境下利用等离子体发生器对氧气和氩气混合气体进行电离，产生的氧离子和氩离子在电场的作用下加速轰击DLC膜中的碳原子，其中氧离子与碳原子发生化学反应生成二氧化碳气体，抽去反应生成的二氧化碳，经过不断的化学反应进行DLC膜脱膜。本公开的方法通过化学反应生成物为二氧化碳气体，不会对环境产生巨大污染，避免了化学药液污染严重的问题，同时通过化学反应不会在镜片表面产生残留物，镜片退镀效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | dlc 方法 | ||
【主权项】：
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