[发明专利]一种半导体生产排程方法、系统、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211049113.1 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115202311A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 蓝景堂;林东洋 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人： | 王冲 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开一种半导体生产排程方法、系统、设备及存储介质，所述方法包括：形成初始排程，所述初始排程中n个待加工晶圆的任意加工工序均对应有目标机台；不断调整初始排程中n个待加工晶圆的任意加工工序对应的目标机台，形成多个调整排程；计算初始排程和多个调整排程中所有机台的平均产能及良率；基于约束条件和所有机台的平均产能及良率，从初始排程和调整排程中筛选出产能及良率最大的最优排程。利用本公开的示例性实施例，通过在数据收集端实时量化数据，可以更为便利地利用大量的侦测数据。对获取的大量数据进行分类处理，使得对所有侦测数据进行准确、高效的内容捕捉，提高了数据的综合利用效率，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 方法 系统 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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