[发明专利]太阳电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳电池及其制备方法，太阳电池的制备方法包括：提供具有透明导电薄膜的太阳电池基片；在透明导电薄膜上通过物理气相沉积依次形成多层铜种子层；在最外层的铜种子层上电镀形成铜电极；形成最内层的铜种子层的沉积功率为0.2KW～0.8KW，且形成最内层的铜种子层的沉积功率小于形成其他层的铜种子层的沉积功率。本发明通过依次在透明导电薄膜上沉积形成多层铜种子层，并且控制各铜种子层的沉积功率；通过最内层铜种子层的低功率溅射，可减小沉积过程对透明导电薄膜及非晶硅层的轰击损伤，起到保护作用；再配合后续铜种子层较高功率的沉积可快速沉积铜种子层，达到量产速度要求。